Moduteck

Moduteck, 最初成立于1980年，Modutek公司开始为快速增长的半导体行业制造湿法工艺设备组件。 我们的专业包括高温石英加热浴，亚周围过滤系统，氮化物蚀刻浴和冲洗系统。 我们的原始市场既向最终用户销售，也支持OEM的湿式加工站。在90年代初期，与半导体行业相关的环境问题成为关注。为了帮助支持这个不断增长的市场，Modutek收购了香农工程公司，并更名为污染控制实验室（PCL）。这个新的环保团体作为Modutek子公司生产空气洗涤器，酸中和系统和化学品输送系统。到90年代后期，Modutek删除了子公司。从那一点;这些环境系统是以Modutek名称制造的。随着湿法工艺设备的新技术进步，Modutek于2002年收购了Sysmax公司，这为我们提供了自动化灵活性，真空蚀刻系统（VES）和自旋过程系统（SPS）。这两个系统都是业界与众不同的，因为VES在真空下蚀刻铝，SPS旋转两个晶片载体，并以非常小的占用面积在蚀刻和冲洗之间转移它们。 Sysmax也作为Modutek子公司运行两年，但所有设备现在都带有Modutek公司名称。

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